氦離子（PDHID）氣相色譜儀檢測高純氣體中的雜質

2020-12-17 16:09:08來源：admin

工業發展推動了氣體行業的飛速發展，對高純氣、超純氣、電子氣、特種氣體的需求也大大提升了，提升的不僅僅是用量，質量要求也更加高。氣體提純工藝和檢測成為了各大氣體生產單位需要緊迫解決的問題。對于氣體的檢測也隨著工業需求在逐步的向前推進，氦離子化檢測器也越來越普遍地被應用在高純氣、電子氣中痕量雜質的檢測。

目前國內在高純氣體分析領域多數采用的熱導（TCD）檢測器由于靈敏度有限，很難測定5ppm以下的雜質；氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器，只能分析少數幾種氣體雜質；而氬離子檢測器又往往帶有放射源。均不能很好的滿足高純氣體分析的基本要求。

氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，蕞小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質的檢測，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質或C1-C4等碳氫化合物的檢測，檢測限達ppb級，重復性RSD≤1％。

一、適用標準：

GB/T3634.2《純氫、高純氫和超純氫》 GB/T 14599《純氧、高純氧和超純氧》

GB/T 8979《純氮、高純氮和超純氮》 GB/T 4842《氬》

GB/T 4844 《純氦、高純氦和超純氦》 GB/T 17873《純氖》

GB/T 5829《氪氣》 GB/T 5828《氙氣》

HG/T 3633《純甲烷》 GB 10621《食品添加劑液體二氧化碳》

GB/T 23938 《高純二氧化碳》 GB/T 28125.1《空分工藝中危險物質的測定》

雜質種類： H2 O2 N2 CO CH4 CO2 C2H4 C2H6 C2H2 N2O 苯

檢測限（ppb）： 5 10 10 25 5 5 10 10 10 5 1

儀器系統配置：

GC-20氣相色譜儀主機

中心切割及反吹系統